中空平台模組

中空平台模組

專注於自動化產業及半導體、光電等相關產業的轉型與優化，提供高精度解決方案和高階運動整合能力。

重複定位精度 ±0.5μm

直線度±1μm/300mm

平面度±2.5μm/300mm

正交度±5arc sec

適用產業：半導體、PCB、Micro LED、AOI檢測、Xray、雷射切割。

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