花崗岩中空XY平台

雷干數據

有效行程/ Storke (mm)	300 mm
重現精度/ Repeatability(μm)	±0.5 μm
水平直線精度/ Horizntal Straihtness (μm)	±1 μm
垂直直線精度/ Vertical Straihtness (μm)	±0.75 μm

回上頁